jbo竞博专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，具体公开了一种翻转装置及晶圆键合设备jbo竞博jbo竞博，该翻转装置包括支撑架、驱动机构、翻转夹持机构和传动机构；支撑架设于真空室的侧壁上，且位于真空室外；驱动机构设于支撑架上；翻转夹持机构位于真空室内；翻转夹持机构包括翻转安装座和夹持组件夹持组件可移动设于翻转安装座上；传动机构包括内传动轴和套设于内传动轴外的外传动轴。本发明中驱动机构完全设置在真空室外，并通过传动机构传递动力，使得真空室内的机械结构能够得到优化，以减少真空室内线缆和驱动源等元器件的布置，进而减少真空室内的元器件数量，减少对真空室内空间的占用，同时减少颗粒污染。

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